Growth of GaN on SiC/Si substrates using AlN buffer layer by hot-mesh CVD

Kazuyuki Tamura, Yuichiro Kuroki, Kanji Yasui, Maki Suemitsu, Takashi Ito, Tetsuro Endou, Hideki Nakazawa, Yuzuru Narita, Masasuke Takata, Tadashi Akahane

研究成果: Article査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Growth of GaN on SiC/Si substrates using AlN buffer layer by hot-mesh CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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