Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates

K. Sawano, S. Koh, Y. Hirose, T. Hattori, K. Nakagawa, Y. Shiraki

研究成果: Article査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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