Formation of SiO2 Protective Coating on SUS 304 Stainless Steel by Chemical Vapor Deposition using TEOS-Os Gas System

Shuji Kikkawa, Tetsu Go, Nobuyoshi Hara, Katsuhisa Sugimoto

研究成果: Article

1 引用 (Scopus)

フィンガープリント Formation of SiO<sup>2</sup> Protective Coating on SUS 304 Stainless Steel by Chemical Vapor Deposition using TEOS-O<sup>s</sup> Gas System' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science