抄録
Channel waveguide with grating is fabricated in nonlinear optical (NLO) polymer thin films by means of simultaneous embossing and photobleaching. A combined structure of mask/master consisting of a photomask part and a grating die part which is made of polyimide is fabricated. Then the mask/master is set on the NLO polymer films and both embossing and photobleaching are performed simultaneously. Profiles of the replica grating and the channel waveguide are estimated.
| 本文言語 | English |
|---|---|
| ページ（範囲） | 495-498 |
| ページ数 | 4 |
| ジャーナル | Optical Materials |
| 巻 | 21 |
| 号 | 1-3 |
| DOI | |
| 出版ステータス | Published - 2003 1月 |
| 外部発表 | はい |
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