Fluorinated amorphous carbon thin films grown from C4F8 for multilevel interconnections of integrated circuits

Kazuhiko Endo, Toru Tatsumi, Yoshihisa Matsubara, Tadahiko Horiuchi

研究成果: Conference article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Fluorinated amorphous carbon thin films grown from C<sub>4</sub>F<sub>8</sub> for multilevel interconnections of integrated circuits」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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