Fluorinated amorphous carbon as a low-dielectric-constant interlayer dielectric

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)55-58
ページ数4
ジャーナルMRS Bulletin
22
10
DOI
出版ステータスPublished - 1997 1 1
外部発表はい

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  • Condensed Matter Physics
  • Physical and Theoretical Chemistry

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