Flexible hollow waveguides for delivery of excimer-laser light

Yuji Matsuura, Mitsunobu Miyagi

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抄録

A hollow waveguide consisting of a glass tube with a thin aluminum film on the inner surface is proposed for delivery of excimer-laser light. The waveguide, fabricated by a chemical-vapor-deposition method, shows low losses for KrF excimer laser light: the straight loss of a 1-mm-bore waveguide was 0.4 dB/m.

本文言語English
ページ(範囲)1226-1228
ページ数3
ジャーナルOptics Letters
23
15
DOI
出版ステータスPublished - 1998 8 1

ASJC Scopus subject areas

  • 原子分子物理学および光学

フィンガープリント

「Flexible hollow waveguides for delivery of excimer-laser light」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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