FBAR characteristics with AlN film using MOCVD method and Ru/Ta electrode

Y. Aota, S. Tanifuji, H. Oguma, S. Kameda, H. Nakase, T. Takagi, K. Tsubouchi

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「FBAR characteristics with AlN film using MOCVD method and Ru/Ta electrode」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy