Fabrication of SOI films with high crystal uniformity by high-speed zone-melting crystallization

Shuhei Yokoyama, Manabu Ihara, Koichi Izumi, Hiroshi Komiyama, Chiaki Yokoyama

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Fabrication of SOI films with high crystal uniformity by high-speed zone-melting crystallization」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds