Fabrication of inverse opal TiO2 waveguide structure

Lusi Safriani, Bin Cai, Kyoji Komatsu, Okihiro Sugihara, Toshikuni Kaino

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

抄録

Inverse opal waveguide structure has been fabricated on patterned polysilane waveguide structure. Embedded inverse opal into patterned polysilane waveguide structure was made up by self assembly of polystyrene template, infiltrated TiO2 dielectric material and finally calcinated at 400 °C. The proposed fabrication method has successfully created inverse opal TiO2 on the patterned polysilane waveguide structure.

本文言語English
ページ(範囲)1208-1210
ページ数3
ジャーナルJapanese journal of applied physics
47
2 PART 2
DOI
出版ステータスPublished - 2008 2月 15

ASJC Scopus subject areas

  • 工学(全般)
  • 物理学および天文学(全般)

フィンガープリント

「Fabrication of inverse opal TiO2 waveguide structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル