Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass

Xinghua Li, Takashi Abe, Yongxun Liu, Masayoshi Esashi

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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