Fabrication of high aspect aluminum doped zinc oxide nanomechanical structures by deep RIE and ALD

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント 「Fabrication of high aspect aluminum doped zinc oxide nanomechanical structures by deep RIE and ALD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy