Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using sacrificial supporting structures

Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Muhammad Salman Al Farisi, Shuji Tanaka

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using sacrificial supporting structures」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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