Fabrication and characterization of a silicon capacitive structure for simultaneous detection of acceleration and angular rate

Jun Mizuno, Kay Nottmeyer, Cleopatra Cabuz, Kazuyuki Minami, Takashi Kobayashi, Masayoshi Esashi

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication and characterization of a silicon capacitive structure for simultaneous detection of acceleration and angular rate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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