Extremely high aspect ratio metal structures for suspension of a micro optical shutter

Allan P. Hui, Risaku Toda, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Extremely high aspect ratio metal structures for suspension of a micro optical shutter」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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