Extremely high aspect ratio metal structures for suspension of a micro optical shutter

Allan P. Hui, Risaku Toda, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference article査読

抄録

A bulk micromachining process for fabricating extremely high aspect ratio metal structures is developed. The structures are thin films perpendicular to the plane of the substrate. The metal structures offer various physical and chemical properties depending on the choice of the metal used. Internal stress considerations for the choice of metal are also discussed.

本文言語English
ページ(範囲)233-238
ページ数6
ジャーナルProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
3513
出版ステータスPublished - 1998
イベントProceedings of the 1998 Conference on Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV - Santa Clara, CA, USA
継続期間: 1998 9月 211998 9月 22

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Extremely high aspect ratio metal structures for suspension of a micro optical shutter」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル