Evaluation of thermal decomposition characteristics of active specialty gases on various metal surfaces using FT-IR method

Yasuyuki Shirai, Seok kiu Lee, Shinji Miyoshi, Tadahiro Ohmi

研究成果: Conference article査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Evaluation of thermal decomposition characteristics of active specialty gases on various metal surfaces using FT-IR method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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