Evaluation of sputtered Pd76Cu6Si18 metallic glass for MEMS application

Klaus Vogel, Maik Wiemer, Thomas Gessner, Juergen Vogel, Yu Ching Lin, Yao Chuan Tsai, Masayoshi Esashi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Evaluation of sputtered Pd<sub>76</sub>Cu<sub>6</sub>Si<sub>18</sub> metallic glass for MEMS application」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science