Evaluation of interfacial state density of MOS capacitor with three-dimensional channel by conductance method

W. Li, K. Nakajima, C. Dou, K. Kakushima, P. Ahmet, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Tsutsui, Y. Kataoka, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Evaluation of interfacial state density of MOS capacitor with three-dimensional channel by conductance method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science