Erratum: Synthesis of pseudobrookite titanium oxynitride Ti3-δO4N films by laser chemical vapor deposition (Vacuum (2015) 116 (121-123))

Akihiko Ito, Hye Sook Joo, Taek Soo Kim, Takashi Goto

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本文言語English
ページ(範囲)108
ページ数1
ジャーナルVacuum
124
DOI
出版ステータスPublished - 2016 2 1

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  • 器械工学
  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜

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