Epitaxial growth of metallic buffer layer structure and c-axis oriented Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3 thin film on Si for high performance piezoelectric micromachined ultrasonic transducer

Pham Ngoc Thao, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Epitaxial growth of metallic buffer layer structure and c-axis oriented Pb(Mn<sub>1/3</sub>,Nb<sub>2/3</sub>)O<sub>3</sub>-Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub> thin film on Si for high performance piezoelectric micromachined ultrasonic transducer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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