Environmentally friendly single-wafer spin cleaning using ultra-diluted HF/nitrogen jet spray without causing structural damage and material loss

Hideki Hirano, Kou Sato, Tsutomu Osaka, Hitoshi Kuniyasu, Takeshi Hattori

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Environmentally friendly single-wafer spin cleaning using ultra-diluted HF/nitrogen jet spray without causing structural damage and material loss」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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