Enhancement-mode AlGaN/GaN MIS-HEMTs with low threshold voltage hysteresis using damage-free neutral beam etched gate recess

Yen Ku Lin, Shuichi Noda, Ruey Bor Lee, Chia Ching Huang, Quang Ho Luc, Seiji Samukawa, Edward Yi Chang

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Enhancement-mode AlGaN/GaN MIS-HEMTs with low threshold voltage hysteresis using damage-free neutral beam etched gate recess」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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