Energy dissipation in submicrometer thick single-crystal silicon cantilevers

Jinling Yang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi

研究成果: Article

239 引用 (Scopus)

フィンガープリント Energy dissipation in submicrometer thick single-crystal silicon cantilevers' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science