Elementary gas-phase reactions of radical species during chemical vapor deposition of silicon carbide using CH3SiCl3

Noboru Sato, Yuichi Funato, Kohei Shima, Hidetoshi Sugiura, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Mitsuo Koshi, Yukihiro Shimogaki

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Elementary gas-phase reactions of radical species during chemical vapor deposition of silicon carbide using CH3SiCl3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Medicine & Life Sciences

Physics & Astronomy

Chemical Compounds