Electron-cyclotron resonance Ar plasma-induced electrical activation of B atoms without substrate heating in B doped Si epitaxial films on Si(100)

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フィンガープリント

「Electron-cyclotron resonance Ar plasma-induced electrical activation of B atoms without substrate heating in B doped Si epitaxial films on Si(100)」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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