Effects of thermal annealing for restoration of UV irradiation damage during plasma etching processes

Yoshinari Ichihashi, Yasushi Ishikawa, Yuji Kato, Ryu Shimizu, Mitsuru Okigawa, Seiji Samukawa

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of thermal annealing for restoration of UV irradiation damage during plasma etching processes」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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