Effects of substrate bias voltage and target sputtering power on the structural and tribological properties of carbon nitride coatings

Pengfei Wang, Takanori Takeno, Julien Fontaine, Masami Aono, Koshi Adachi, Hiroyuki Miki, Toshiyuki Takagi

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of substrate bias voltage and target sputtering power on the structural and tribological properties of carbon nitride coatings」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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