Effects of discharge frequency on the ion-current density and etching characteristics in high-density Cl2 plasmas

Seiji Samukawa, Tsutomu Tsukada

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effects of discharge frequency on the ion-current density and etching characteristics in high-density Cl2 plasmas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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