Effects of Al addition to Si-based flux on the growth of 4H-SiC films by vapour-liquid-solid pulsed laser deposition

R. Yamaguchi, A. Osumi, A. Onuma, K. Nakano, S. Maruyama, T. Mitani, T. Kato, H. Okumura, Y. Matsumoto

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of Al addition to Si-based flux on the growth of 4H-SiC films by vapour-liquid-solid pulsed laser deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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