Effect of Phosphorus-Doping on Crystallization-Induced Stress of Silicon Thin Films

Hideo Miura, Asao Nishimura

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effect of Phosphorus-Doping on Crystallization-Induced Stress of Silicon Thin Films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds