Effect of NH3 atmosphere on preparation of Al2O 3-AlN composite film by laser CVD

Yu You, Akihiko Ito, Rong Tu, Takashi Goto

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Effect of NH3 atmosphere on preparation of Al2O 3-AlN composite film by laser CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Material Science