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Effect of NH
3
atmosphere on preparation of Al
2
O
3
-AlN composite film by laser CVD
Yu You, Akihiko Ito, Rong Tu, Takashi Goto
金属材料研究所・材料プロセス・評価研究部
研究成果
:
Conference contribution
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Effect of NH
3
atmosphere on preparation of Al
2
O
3
-AlN composite film by laser CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Material Science
Aluminum Nitride
100%
Composite Films
60%
Al2O3
40%
Chemical Vapor Deposition
40%
Crystal
40%
Laser
40%
Phase Composition
20%
Material
20%
Protective Atmosphere
20%
Aluminum
20%
Microstructure
20%