Effect of electron temperature on negative hydrogen ion production in a low-pressure Ar discharge plasma with methane

S. Iizuka, T. Koizumi, T. Takada, N. Sato

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抄録

Production of negative hydrogen ions (H-) is continuously controlled in a low-pressure Ar discharge plasma with methane by using a pin-hollow cathode. The electron temperature is changed by varying the pin length. An enhanced production of negative hydrogen ions is observed with a decrease in the electron temperature.

本文言語English
ページ(範囲)1619-1621
ページ数3
ジャーナルApplied Physics Letters
63
12
DOI
出版ステータスPublished - 1993

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  • 物理学および天文学(その他)

フィンガープリント

「Effect of electron temperature on negative hydrogen ion production in a low-pressure Ar discharge plasma with methane」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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