Effect of dopant concentration on oxidation-induced stacking faults in boron-doped cz silicon

Shigefusa Chichibu, Tsuyoshi Harada, Satoru Matsumoto

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effect of dopant concentration on oxidation-induced stacking faults in boron-doped cz silicon」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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