Effect of CH4/SiCl4 ratio on the composition and microstructure of 〈110〉-oriented β-SiC bulks by halide CVD

Rong Tu, Dingheng Zheng, Hong Cheng, Mingwei Hu, Song Zhang, Mingxu Han, Takashi Goto, Lianmeng Zhang

研究成果: Article査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of CH4/SiCl4 ratio on the composition and microstructure of 〈110〉-oriented β-SiC bulks by halide CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds