Effect of AR gas pressure on mechanical properties of sputtered Ti thin films

Hirofumi Ogawa, Kiyoteru Suzuki, Shinji Kaneko, Masumi Saka

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Effect of AR gas pressure on mechanical properties of sputtered Ti thin films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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