Discussion of millimeter wave FBAR with very thin A1N film fabricated using MOCVD method

Shoichi Tanifuji, Yuji Aota, Suguru Kameda, Tadashi Takagi, Kazuo Tsubouchi

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Discussion of millimeter wave FBAR with very thin A1N film fabricated using MOCVD method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy