Direct bonding of SiC by the suface activated bonding method

Tadatomo Suga, Fengwen Mu, Masahisa Fujino, Yoshikazu Takahashi, Haruo Nakazawa, Kenichi Iguchi

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Direct bonding of SiC by the suface activated bonding method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science