Development of new tight-binding molecular dynamics program to simulate chemical-mechanical polishing processes

Toshiyuki Yokosuka, Hitoshi Kurokawa, Seiichi Takami, Momoji Kubo, Akira Miyamoto, Akira Imamura

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Development of new tight-binding molecular dynamics program to simulate chemical-mechanical polishing processes」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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