Development and performance of a profilometer for measurement of mirror surface figure

H. Sugawara, M. Yanagihara, S. Asaoka, M. Okusawa, H. Maezawa

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抄録

A profilometer has been developed to measure quantitatively the surface figures of optical elements. It consists of a He-Ne laser source and a position-sensitive detector mounted on stepper-motor-driven platforms. Its application has been made successfully to the estimate of changes in the surface slope and figure of a SiC mirror exposed to high power synchrotron radiation.

本文言語English
ページ(範囲)485-488
ページ数4
ジャーナルJournal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
80
DOI
出版ステータスPublished - 1996 5月
外部発表はい

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  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 放射線
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 分光学
  • 物理化学および理論化学

フィンガープリント

「Development and performance of a profilometer for measurement of mirror surface figure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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