Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe

Van Hieu Dang, Van Tam Le, Kazuhiro Hane, Manh Hoang Chu

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science