Design and fabrication of MEMS packaging

Masayoshi Esashi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)1137-1141
ページ数5
ジャーナルSeimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering
70
9
DOI
出版ステータスPublished - 2004 9

ASJC Scopus subject areas

  • Mechanical Engineering

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