Deposition condition and pinhole defect density of CrNx (1≥ x ≥ 0) Thin films formed by ion-beam-enhanced deposition

Hirotsugu Kondo, Noboru Akao, Nobuyoshi Hara, Katsuhisa Sugimoto

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Deposition condition and pinhole defect density of CrN<sub>x</sub> (1≥ x ≥ 0) Thin films formed by ion-beam-enhanced deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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