Degradation of polymers for resist using microbubbles on ozonized water

Kohei Matsuura, Takashi Nishiyama, Eriko Sato, Masashi Yamamoto, Masayoshi Takahashi, Kunihiko Koike, Hideo Horibe

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本文言語English
ページ(範囲)299-301
ページ数3
ジャーナルJournal of Photopolymer Science and Technology
28
2
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出版ステータスPublished - 2015 8 19
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  • Polymers and Plastics
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