Dc self-bias voltages in radio frequency magnetron discharges

S. Yonemura, K. Nanbu

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Dc self-bias voltages in radio frequency magnetron discharges」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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