Damage-free ultradiluted HF/nitrogen jet spray cleaning for particle removal with minimal silicon and oxide loss

Hideki Hirano, Kou Sato, Tsutomu Osaka, Hitoshi Kuniyasu, Takeshi Hattori

研究成果: Article査読

25 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Damage-free ultradiluted HF/nitrogen jet spray cleaning for particle removal with minimal silicon and oxide loss」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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