CVD kinetics of molybdenum films and simulation of the growth rate distribution in a reactor

Noboru Yoshikawa, Atsushi Kikuchi, Shoji Taniguchi

研究成果: Article査読

フィンガープリント 「CVD kinetics of molybdenum films and simulation of the growth rate distribution in a reactor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Medicine & Life Sciences