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CVD kinetics of molybdenum films and simulation of the growth rate distribution in a reactor
Noboru Yoshikawa
, Atsushi Kikuchi, Shoji Taniguchi
工学研究科・金属フロンティア工学専攻
研究成果
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概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「CVD kinetics of molybdenum films and simulation of the growth rate distribution in a reactor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
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Molybdenum
Chemical vapor deposition
Gases
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Flow rate
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Thermochemistry
Surface reactions
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Reaction rates
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Powders
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Substrates
Engineering & Materials Science
Molybdenum
Chemical vapor deposition
Film growth
Gases
Flow of gases
Flow rate
Chemical analysis
Thermochemistry
Surface reactions
Fused silica
Reaction rates
Activation energy
Mass transfer
Powders
Substrates
Medicine & Life Sciences
Molybdenum
Gases
Kinetics
Growth
molybdenum chloride
Silicon Dioxide
Powders
Temperature