Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves

Yang Ju, Kojiro Inoue, Masumi Saka, Hiroyuki Abé

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フィンガープリント 「Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy