Comprehensive study on chemical structures of compositional transition layer at SiO2/Si(100) interface

T. Suwa, Akinobu Teramoto, T. Muro, T. Kinoshita, S. Sugawa, Takeo Hattori, T. Ohmi

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Comprehensive study on chemical structures of compositional transition layer at SiO<sub>2</sub>/Si(100) interface」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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