Compound semiconductor micro/nanomechanics

Hiroshi Yamaguchi, Yoshiro Hirayama

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

抄録

We are studying the fusion of semiconductor quantum nanostructures and micro/nanomechanical systems. Mechanical systems are extremely sensitive to applied force and this feature can be used to achieve new functionality in semiconductor quantum nanostructure devices. Here we report displacement detection using a quantum mechanical electron interferometer and the fabrication of nanoscale conductive semiconductor cantilevers.

本文言語English
ページ(範囲)25-30
ページ数6
ジャーナルNTT Technical Review
2
6
出版ステータスPublished - 2004 6月 1
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • コンピュータ サイエンスの応用
  • コンピュータ ネットワークおよび通信
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Compound semiconductor micro/nanomechanics」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル